Система NANOMETRO® Серии ТТ

Приборы серии ТТ представляют собой вертикально вращающиеся измерительные системы плоскостности полупроводниковой пластины по типу краевого захвата. Минимальное исключение края в 1 мм, и высокоточное автоматическое измерение по системе транспортировки полупроводниковых пластин из кассеты в кассету будет выполнено. Параметры оценки соответствуют стандартам SEMI.

Серии: