Система NANOMETRO® Серии FR

Это серия приборов включает в себя / состоит из вращающегося стола на воздушных опорах и применяется для измерения контура поверхности керамических плит для полировки полупроводниковых пластин и дисков (до Ф1000 мм), таких, например, как притирочные плиты.

Программное обеспечение предназначено для выполнения разнообразных видов измерений, например измерение концентрический окружности для более глубокого оценивания.